Систем процесне расхладне воде састоји се од следећих делова: расхладних уређаја, пумпи, измењивача топлоте, резервоара за воду, филтера и процесне опреме.
Расхладни уређај за воду: Обезбедите извор хладноће за систем воде за хлађење.
Пумпа за воду: ставите воду под притисак како бисте осигурали њену циркулацију у систему за хлађење.
Измењивач топлоте: Користите ову опрему за размену топлоте између система за хлађену воду и система за хлађену воду како бисте пренели топлоту која се ствара на крају система за пуњење у систем расхлађене воде.Постоји много типова измењивача топлоте, који се према свом облику могу поделити на тип шкољке и цеви, тип плоче, тип плочастих пераја, тип топлотне цеви итд.За поређење, плочасти измењивач топлоте има предности мале површине и велике површине преноса топлоте.С обзиром на трошковне карактеристике простора и површине од,у фабрици полупроводника, опрема са малим отиском је пожељна да би се уштедела површина земљишта и трошкови инжењеринга.
Резервоар за воду: Резервоар за воду у отвореном систему углавном игра улогу допуњавања извора воде.Резервоар за воду у затвореном систему треба да изабере експанзиони резервоар за воду.Експанзиони резервоар за воду има три функције.Један је да задржи и надокнади експанзију и контракцију воде у систему;други је да обезбеди стабилан притисак у затворени циркулациони систем воде и игра улогу у стабилизацији система;Трећи је као индикација системске пумпе за воду, обично експанзиони резервоар шаље сигнал за покретање или искључивање системске пумпе за воду.
филтер: филтрирати чврсте честицеУ систему процесне расхладне воде постоје два релативно независна система, расхладна вода и расхладна вода.Хлађену воду обезбеђује расхладни уређај, а охлађена вода и расхладна вода размењују топлоту како би охладили расхладну воду и смањили температуру опреме.Вода се пумпа из производне опреме кроз пумпу за воду до измењивача топлоте како би се обезбедила температура процесне расхладне воде контролисањем количине охлађене воде, а затим се шаље у опрему производне линије након проласка филтера, а затим назад у пумпа за воду.Расхладна вода процеса формирања стално циркулише.Охлађена вода се директно враћа у хладњак.